Vacuum Instruments 真空計儀器
殘餘氣體分析儀Residual Gas Analyzer,RGA是學界與業界用來了解系統真空各類狀況的主要工具,廣泛應用於系統測漏、殘氣比例分析、製程氣體分析、程溫脫附(thermal desorption)等。SRS打破一般的四級質譜管,有著優於1amu的解析度,且具有6個數量級的動態範圍,有效提升分析上的敏感度。
RGA藉由質譜分析的原理,透過燈絲產生熱電子游離真空系統內的殘餘氣體分子並使之離子化,接著透過四級質譜管Quadrupole質量分析器,篩選出所欲偵測的氣體分子所帶之電荷,並將偵測訊號透過電子訊號放大器electron multiplier到電腦進行監測。
Residual Gas Analyzers殘餘氣體分析儀 | Atmospheric Sampling Systems大氣採樣系統 |
RGA系列 殘餘氣體分析儀系統 PPM100 Partial Pressure Monitor for RGA |
UGA(ULT)系列 四級質譜儀-大氣分析設備 QMS系列 四級質譜儀-大氣採樣 |
Process Monitoring Systems製程監測系統 | Ion Gauge Controllers離子真空計 |
UGAPM系列 真空製程監控系統 PPR系列 製程監測系統 CIS系列 封閉離子源式質譜儀 |
IGC100 Ion Gauge Controller真空計控制器 PG108 Pirani Gauge派藍尼真空計 Bayard-Alpert 離子真空計 |
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