RGA四極質譜儀,真空計控制器

Vacuum Instruments 真空計儀器

殘餘氣體分析儀Residual Gas Analyzer，RGA是學界與業界用來了解系統真空各類狀況的主要工具，廣泛應用於系統測漏、殘氣比例分析、製程氣體分析、程溫脫附（thermal desorption）等。SRS打破一般的四級質譜管，有著優於1amu的解析度，且具有6個數量級的動態範圍，有效提升分析上的敏感度。
RGA藉由質譜分析的原理，透過燈絲產生熱電子游離真空系統內的殘餘氣體分子並使之離子化，接著透過四級質譜管Quadrupole質量分析器，篩選出所欲偵測的氣體分子所帶之電荷，並將偵測訊號透過電子訊號放大器electron multiplier到電腦進行監測。