產品中心
Diffractive Optical Elements(繞射元件DOE)
    發布時間: 2020-11-11 13:37    
NIL TECHNOLOGY
NIL TECHNOLOGY
NIL Technology善於製作DOE壓印母模，依照客戶需求提供完整客製化的服務，使得客戶想要的任何需求都有可能被實現。
Diffractive Optical Elements(繞射元件DOE)特點
  • 圖樣高清晰度/圖樣失真度低
  • 高深寬比
  • 結構邊緣銳利
  • 多層結構
  • 高解析度
  • 高平坦度表面
Diffractive Optical Elements(繞射元件DOE)主要參數
  • 材料：矽晶圓、石英、鎳板
  • 深度限制：無深度限制，可達到16層結構
  • 最小線寬：可達50 nm – 主要是材料、層數、深寬比限制
  • 最大深寬比：1:3到1:10 (依照材料有所不同)
  • 最大基材尺寸：2″, 4″, 6″, 8″
  • 垂直尺寸精度：結構高度6%誤差以內
  • 結構中心到中心疊加精度：小於30 nm
  • 橫向線寬誤差量：小於15 nm
先鋒科技
youtube
FB
Line
服務熱線：886-2-2655-2200  業務咨詢：151 / 維修校正：185
產品
文章
搜索
名稱描述內容

【關鍵字搜索】​​：

請於欄位下方先點選"內容"

當前位置：