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CIS閉離子源氣體分析儀/質譜儀
    發布時間: 2020-11-12 17:09    
SRS
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CIS閉離子源氣體分析儀擁有高於1 ppm檢測極限、以mTorr壓力直接採樣,包含一個方便使用的Windows套裝軟體,同時系統將滿足您的最嚴格科研的應用。
CIS閉離子源氣體分析儀/質譜儀 特點:
CIS閉離子源氣體分析儀可在線對氣體進行監控、測量其成分,可作爲高真空殘餘氣體分析和泄漏檢查處理設備
  • 100,200和300amu系統
  • 1 ppm的檢測
  • 10mTorr最大工作壓力
  • 1×10-12Torr檢測極限
  • RGA的Windows軟件
  • 可現場更換的電子倍增器和長絲
  • RGA和CIS模式
CIS閉離子源氣體分析儀/質譜儀 應用:
  • 真空在線檢測
  • 高真空成份分析
  • MOCVD等在線過程監控
  • 10mTorr-10Torr真空度內反應過程檢測等
CIS閉離子源氣體分析儀/質譜儀
服務熱線:886-2-2655-2200  業務咨詢:151 / 維修校正:185
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