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PPR系列製程監測系統
    發布時間: 2020-04-20 16:25    
SRS
SRS
Stanford Research Systems PPR製程監控系統是專為產線設計的製程監測和診斷系統。兩條路徑提供到殘餘氣體分析儀 (RGA):用於監測基本真空的高電導率路徑,和用於在工作壓力下監測過程的減壓路徑。壓力控制系統是由渦輪分子的混合泵浦和隔膜泵浦組成,使用兩無油台泵浦,不會污染操作系統。
PPR製程監測系統 特點:
  • 0.01, 0.1, 1.0 或 10 Torr 進氣壓力
  • 3 × 10⁻⁵ Torr-L/s流速
  • 2秒響應時間(0.1 Torr)
  • 分為100, 200 or 300 amu 系統
  • 可現場更換燈絲及電子倍增管
  • 6個量級的動態範圍
  • RGA的Windows軟體
PPR製程監測系統
服務熱線:886-2-2655-2200  業務咨詢:151 / 維修校正:185
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