3D形貌儀HawkEye鷹眼系列

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3D形貌儀HawkEye鷹眼系列

發布時間: 2021-05-12 12:18

Zolix

3D形貌儀是近代非常廣泛使用的影像檢測設備，可以短時間獲得產品的二維與深度資訊，此形貌儀適合小型元件的表面形貌量測，擁有很好的深度解析度與二維影像解析能力。
隨著半導體技術的電子技術工藝的發展，電子產品都往小型化，輕薄化發展。穿戴電子產品成為了一個新的電子設備應用潮流。隨著電子產品的小型化，器件體積越做越小，空間就緊湊起來，這對器件加工尺寸及工藝的容差要求就越來越高。如何管控器件的尺寸及加工工藝對檢測手段提出了新的挑戰。原來很多製程工序只要管控2D的尺寸，現在需要管控3D的尺寸，而且精度要求都在微米級別，這就需要一個高速、高精度的測量手段來管控生產品質。
卓立漢光的3D形貌測試儀應運而生，這款儀器採用非接觸式線光譜共焦快速掃描技術，能夠高精度還原產品的3D結構，對肉眼不可見的結構缺陷都能準確檢測。因為具有較快的掃描速度，微米級別的精度和超強的穩定性，一經推出立馬成為精密生產商的新寵。在精密鑄件、精密點膠、3D玻璃，半導體缺陷檢測和多層光學薄膜厚度檢測，就是這款產品的主要應用領域。
3D形貌儀鷹眼系列特點

非接觸性測量；
線掃描，高效率；
微米級精度；
滿足透明面及高對比度表面測試；
支持二次開發；

3D形貌儀鷹眼系列應用

精密部件3D尺寸及段差測試；
精密點膠膠線截面、膠線寬度、膠線高度測試；
3D玻璃缺陷檢測；
半導體表面缺陷測試；
多層薄膜厚度測試；

3D形貌儀鷹眼系列系列規格

型號	HawkEye-1300	HawkEye-5000
方式	共焦光譜	共焦光譜
精度	1um	8um
重複性	±0.3um	±4um
線掃寬度	6.5mm	20mm
Z軸量程範圍	1.3mm	5mm
掃描速度	300line/s(Max:1000line/s)	300line/s(max:1000line/s)
重量	5Kg	8Kg
尺寸	460X300X140mm	460X300X140mm