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橢圓儀-多點量測橢偏儀Theta-SE
    發布時間: 1970-01-01 08:00    
J.A.Woollam
J.A.Woollam

橢圓儀-多點量測橢偏儀Theta-SE-J.A.Woollam

橢圓儀theta-SE多點量測橢偏儀是一種用於表徵薄膜均勻性的光譜式橢偏儀。它以實惠的價格在緊湊的空間中配備了先進的橢偏量測與電控平台，達到多點量測wafer的功能，藉此測得多點橢偏參數，與多點的薄膜厚度和折射率數值。 具有體積小、數據快速取得、光斑小、軟體操作介面容易等特點，為性價比最高的多點量測橢偏儀。
多點量測橢偏儀Theta-SE(橢圓儀)特點
  • 體積小
  • 數據取得快速
  • 非破壞性量測
  • 同時分析厚度，折射率，消光係數
  • 小光斑橢偏儀
  • 軟體介面容易操作，內建模型完整
  • 性價比最高的多點量測橢偏儀
  • 波長範圍400nm to 1000nm，即時分光
多點量測橢偏儀Theta-SE(橢圓儀)應用
  • VCSEL量測
  • 氧化物/氮化物薄膜量測
  • 金屬氧化層量測（較薄可透光的金屬）
橢圓儀-橢偏儀Theta-SE
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