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VASE高精度薄膜厚度量測儀
    發布時間: 2020-04-27 17:31    
J.A.Woollam
J.A.Woollam
J.A.Woollam VASE是一款高精度多角度橢圓偏光儀，V-VASE系統非接觸式膜厚量測，垂直擺放樣品，移動精度高，量測角度從15-90度，可進一步量測樣品穿透率。
VASE高精度薄膜厚度量測儀特點
  • 測量靈活：帶有垂直樣品台的V-VASE,可以適應各類測量,包括反射、穿透、散射等。
  • 準確的數據測量：VASE是結合自了動相位延遲(AutoRetarder®)專利技術的旋轉檢偏(RAE)橢偏儀,測量精準。
  • 高精度的波長選擇：HS-190掃描式單色儀是為光譜橢偏術專門設計的。在自動控制波長選擇及光譜分辨率時,它可以優化速度、波長準確性及光輸出。
VASE高精度薄膜厚度量測儀 應用
  • VCSEL量測
VASE高精度薄膜厚度量測儀
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