PSD光學式位移感測器

PSD光學式位移感測器-Miconmeter等級精密量測

PSD光學式位移感測器，作用在Micon meter等級的精密量測，用以校準雷射光斑、連續光點位置判讀及精密位移平台的校準應用，是一系列高精密度的校準元件。
針對工具機產業應用提供許多非接觸式的位移量測解決方案，可以用以取代比較貴的光學測距儀，可達到元件化的位移PSD量測方案。
應用實例：
•五軸加工機刀頭定位系統
•精密平台對位量測
•壓電平台光學尺
•振動量測應用
•雷射追心應用
•雷射Autofocus應用
一般精密量測產品的精度介紹：

游標尺(1mm)
光學尺(1-5um) for一維探測
CCD(約40um)
Lateral effect(最高達約1um)
Segment effect(最高達約0.5um)

CCD與PSD檢測精度的比較
比較一

比較二
•頭髮約50um
•CCD精度算法(理論值)
½”2592*1944畫素(五百萬畫素)
16mm*0.5*0.8*1/2592 = 2.5um
•Lateral effect精度換算約3125萬畫素
•Segment effect精度換算約1億2500萬畫素
PSD系統架構

PSD產品分類

常見PSD相關名稱(中英文對照)
Lateral effect（整體結構，無Gap）
Duo-lateral PSD = Super-linear PSD = 雙側結構PSD = 超線性PSD
Tetra-lateral PSD = 四側結構PSD
Pin-cushion PSD = 枕型結構PSD = 改良型PSD
Segment（分節結構，有Gap）
Quadrant PSD = segment PSD = 四象限探測器 = 分節探測器

搭配使用的邏輯放大器(唯一選擇)
Lateral effect
一維連續型 – 搭配比較放大器
二維連續型– 搭配直差放大器
Segment
一維分節型 – 搭配比較放大器
二維分節型 – 搭配和差放大器

PSD的選擇要點
PSD位置感測器,解析度(分辨力)依靠以下幾點因素決定
1.Detector type 探測器的類型（有、無分節）
2.Detector Size 探測器尺寸大小
3.Detector Noise 探測器的雜訊
4.Light Input Intensity 光強度
5.Bandwidth of the Electronic Signal Processing Circuits 電子訊號處理的頻寬
6.選用的放大器、訊號處理器與判斷系統

先鋒產品系列

產品	原廠型號
PSD	OSI- LSC,SC,FTL,DL,DLS,SPOT etc. series IRD-PS Series Judson-PS& QUAD series
PSD-preamp module	OSI-QD7-0-SD, QD50-0-SD
PSD Housing	ON-TRAK-PSM series
放大器	ON-TRAK-OT301, OT301-DL, OT301-SL UDTI-301, 501
顯示器	ON-TRAK-OT302D UDTI-431,531