用於紫外成像/光譜學的sCMOS和紫外線敏感EMCCD相機的性能比較

【Comparative Performance of sCMOS and UV-Sensitive EMCCD Cameras for Advanced UV Imaging and Spectroscopy】

高靈敏度紫外線（UV）成像和光譜技術對於新興應用至關重要，例如高帶隙半導體的光學表徵、光刻掩模檢測、極紫外線（EUV）光源診斷、用於化學分析的紫外拉曼光譜以及用於聚變研究的等離子體動力學成像。這些領域需要具有卓越量子效率（QE）、低雜訊和高時間解析度的EUV-UVC波段（10-400 nm）偵測器。本研究採用綜合方法，結合實驗測量和模擬數據，評估了各種紫外線敏感EMCCD、CCD和sCMOS架構在一系列前沿應用中的性能。