氣浮花崗岩平台於產業上的應用

氣浮平台在半導體產業中應用廣泛，主要用於高精度定位和移動，特別是在晶圓製造、光學檢測和精密加工等環節。由於其無摩擦、高精度的特性，氣浮平台能有效提升生產效率和產品質量。以下是氣浮平台在半導體應用中的具體說明：
1. 晶圓處理和製造:
高精度定位:氣浮平台能提供極高精度的定位，確保晶圓在各製程階段精準對準，例如曝光、蝕刻、沉積等。
晶圓搬運:在無塵室環境中，氣浮平台可輕柔地搬運晶圓，避免刮傷或污染，確保晶圓的潔淨度。
晶圓檢測:氣浮平台的高精度和穩定性，適用於晶圓表面缺陷檢測、尺寸量測等，提升檢測精度。
2. 光學檢測和量測:
鏡頭組裝:氣浮平台可精確定位和組裝微小鏡頭，確保光學系統的精度和穩定性，例如用於晶片檢測的光學系統。
光學元件加工:在研磨、拋光等工藝中，氣浮平台能提供高精度的定位和運動控制，確保光學元件的表面質量。
光學檢測設備:氣浮平台是高階精密檢測設備的關鍵部件，例如用於晶圓檢測的共軛焦顯微鏡等。
3. 精密加工: 微觀加工:氣浮平台在高精度微觀加工中扮演重要角色，例如用於微米和納米級的加工，確保加工精度和表面質量。
雷射加工:氣浮平台可與雷射加工設備結合，實現對材料的高精度切割、雕刻等。
4. 其他應用:
半導體設備:氣浮平台也廣泛應用於半導體設備的各個環節，例如在晶圓切割機、封裝設備等。
其他精密儀器:除了半導體產業，氣浮平台也適用於其他需要高精度定位和運動控制的領域，例如精密量測儀器、航空航天設備等。

氣浮平台在半導體產業中的應用，主要得益於其高精度、無摩擦、零磨耗、高穩定性和長壽命等優點。隨著半導體製程不斷朝著微細化和高精度方向發展，氣浮平台的重要性將日益增加。

產品連結：氣浮式花崗岩運動平台