氣浮式花崗岩運動平台

busch的氣浮式花崗岩運動平台 MVL Technology Granite XY Stages 結合天然花崗岩阻尼特性與精密磁預載氣浮軸承，旨在提供無摩擦、無污染、超高精度定位解決方案。它具有高負載能力、高加速度、高精度和現場快速整合能力，為半導體、光學、精密製造等尖端領域提供最佳支持。
．磁預載氣浮軸承 (Magnetically Preloaded Air Bearings)：利用磁力預載達到免維護、無摩擦、極為平滑的運動效果，非常適合潔淨室環境。
．花崗岩主體結構：搭配氣浮軸承以提升阻尼與穩定性，能提供高精度與低振動性能。
．淨化環境友適性：無污染、無油霧設計，適用於半導體、光學量測等需要潔淨操作的產業。
．模組化配置：可選擇是否配備通孔、控制器，以及絕對或增量尺系統，軸承剛性可透過氣浮壓力微調。

氣浮式花崗岩運動平台特點

極致平滑無摩擦：氣浮軸承搭配磁預載，實現免潤滑、無維護的超平順運動。
高穩定高精度定位：重複精度可達 0.2 µm、導引精度達 0.4 µm，非常適合微米級精密任務。
潔淨室與無塵環境適應性：無油、無污染，符合嚴苛製程環境要求。
高度客製彈性：可按需選配通孔、量測系統、控制模組及軸承剛性等，滿足多樣化應用場景。

氣浮式花崗岩運動平台應用

半導體檢測與製造
光學量測與對位
微米級組裝、雷射加工
綠能電控裝置

氣浮式花崗岩運動平台主要參數

XY行程	200 mm x 300 mm
速度	200 mm/s
加速度	1 m/s²
導軌精度	0,4 µm
方形程度	< 5 µm/m
回授量測系統	Incremental, SinCos - Anlaog 1Vpp
絕對精度	0,4 µm
重複精度	0,2 µm
負載能力	5 kg