多角度寬光譜橢偏儀M-2000

橢偏儀

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J.A.Woollam

OptiGauge MIR光學計量系統

干涉式膜厚儀

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Lumetrics

非接觸式厚度測量儀OptiGauge II

干涉式膜厚儀

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膜厚儀-Bristol 157

干涉式膜厚儀

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Bristol Instruments

VS3-視覺型晶圓檢測系統

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LEP500-電漿蝕刻深度監控設備

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