半導體晶圓拉曼光譜測試系統

半導體晶圓拉曼光譜測試系統具有自動對焦和即時表面追蹤功能，無需樣品標記，可進行無損非接觸式測量，空間分辨率＜1μm。系統可以對第三代半導體進行組成、應力、載子濃度、結晶度和缺陷進行檢測，廣泛地應用於半導體材料的品質監控、失效分析。
主要功能
面向半導體晶圓檢測的拉曼光譜測試系統
• 光穿過介質時會被原子和分子散射的光發生頻率變化，此現象稱為拉曼散射。
• 拉曼光譜的強度、頻移、線寬、特徵峰數目、退偏度與分子的振動能態、轉動能態、對稱性等緊密相關
• 廣泛地應用於半導體材料的品質監控、失效分析。
半導體晶圓拉曼光譜測試系統主要參數

拉曼激發和收集模組	雷射波長	532 nm
	雷射功率	100 mW
	自動對焦	•在全掃描範圍自動聚焦和即時表面追蹤 •對焦精度<0.2微米
	顯微鏡	•用於樣品定位和成像 •100x，半複消色差物鏡 •空間解析度<2微米
	拉曼頻移範圍	80-9000 cm⁻¹
樣品移動和掃描平台	平移台	•掃描範圍大於300x300mm。 •最小解析度1微米。
樣品移動和掃描平台	樣品台	•8吋吸氣台（12吋可訂製） •可相容2、4、6、8吋晶圓片
光譜儀和探測器	光譜儀	•320 mm焦長單色儀，接面陣探測器。 •解析度<2.0 cm⁻¹。
軟體	控制軟體	•可選擇區域或指定點位自動進行逐點光譜擷取
軟體	Mapping資料分析軟體	•可對光譜峰位、峰高和半高寬等進行擬合。 •可自動擬合並計算應力、晶化率、載流子濃度等信息，樣品資料庫可自訂。 •將擬合結果以二維影像方式顯示。