三軸XZ+Y系統

XZ+Y系統是一款以花崗岩為基礎的三軸定位模組，設計特色是將 X 軸直接安裝於橫樑（traverse）上，而非與底台二軸整合，適合高剛性、高動態應用。
•結構材質：花崗岩主體，搭配剛性極高的橫樑設計
•驅動方式：X/Y 軸採線性鐵心馬達驅動，Z 軸為伺服馬達
•測量對應：標配增量光學尺（解析度 100–1 nm），可選絕對尺，或採 Invar／Zerodur 等材質
•行程範圍：
X & Y：可達 200–1000 mm
Z：100–300 mm
•動力性能：最高速度 1 m/s，加速度可達 10 m/s²

三軸XZ+Y系統特點

高剛性設計：X 軸固定於橫樑上，強化整體剛性與穩定度
長行程與高動態：X/Y 可達 1 m，速度 1 m/s，加速度可至 10 m/ s²
高精度量測：解析度達 1 nm，可選高穩定 Invar/Zerodur 材料
高彈性客製：氣浮軸承、額外 Z 軸、控制器與鋼架選配

三軸XZ+Y系統應用

此種設計特別適合長行程、高加速度的定位需求，尤其是對加工頭動態要求高而希望保持工件靜置的場合。

高剛性雷射加工／切割
精密測量、位移、貼合與對位作業
半導體製程、光學檢測、多軸裝配平台

三軸XZ+Y系統主要參數

驅動系統	鐵核線性馬達XY/ 伺服馬達Z
系統解析度	100 - 1 nm
重複精度	Depending on resolution and controller
行程X	200 - 1.000 mm
行程Y	200 - 1.000 mm
行程Z	100 - 300 mm
最高速度	1 m/s
最大加速度	10 m/s²