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線性花崗岩運動平台
    發布時間: 2025-07-16 10:56    
BUSCH
Busch Microsystems

線性花崗岩運動平台

BUSCH的線性花崗岩運動平台 Granite Linear Stages 利用花崗岩平台設計,在高剛性、低振動、調整性與模組性上都有優異表現,適合應用在高速、高精度定位需求領域。無論是單軸、雙軸、多軸、還是大型龍門結構,都可依您的行程、負載與環境進行客製化配置。

線性花崗岩運動平台 特點

  • 花崗岩基體:採用超低內應力、自然阻尼優質花崗岩,提供平滑穩定的運動與防振特性。
  • 高剛性+低慣性:平台結構兼具剛性與輕量化,能在高速定位下保持微小的偏擺、俯仰與翻滾誤差。
  • 尺度與行程可調:標準化平台可依需求選配行程,且允許多種行程與尺寸組合調整。
  • 精密導軌整合:平台在產線時即完整安裝導軌、驅動機構及精密測量系統,確保出廠即能達到高精度。
  • 模組化設計:可搭載直線或氣浮軸承、乾式或磁預載系統,並可延伸為多軸或龍門結構。

線性花崗岩運動平台 應用

  • 半導體製程
  • 精密光學量測
  • 雷射微加工
  • 電子檢測與組裝
  • 醫療器材開發與量測

線性花崗岩運動平台 主要參數

驅動系統 無鐵心線性馬達
平台解析度 100 - 1 nm
重複精度 依照控制器設定而異
行程 25 - 300 mm
最高速度 0.2 m/s
最高加速度 5 m/s²

線性花崗岩運動平台 系統選配

.Linear Stages:單一線性平台,適合點位或直線掃描操作。
.XY / XYZ 多軸平台:標準化雙軸與三軸組合,含有無孔版本、開孔版本、氣浮版本等多樣型態。
.Gantry / 龍門系統:花崗岩基座上搭載三軸或多軸的龍門結構,適合大行程與高剛性的應用。
服務熱線:886-2-2655-2200  業務咨詢:151 / 維修校正:185
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