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8810系列電容位移感測器
    發布時間: 2020-06-16 16:50    
MicroSense
Microsense
8810電容位移感測器是一款優化的靜態量測設備,與4810相比,有更低的雜訊、更高的解析度、允許更大的架設距離, 此款被設計為在10 kHz的動態範圍下,有最好的線性度與穩定度,最高解析度可達到數百Picometer等級,其探頭被設計成不包含任何電子的方式,所以可以屏蔽掉探頭本身的電子雜訊,以達最高的解析度。要達到最佳的量測特性,需依照不同的樣品尺寸、外形搭配不同型態的探頭
8810系列電容位移感測器 特點
  • 在小面積感測上達到最高的解析度
  • 低雜訊
  • 鎖相控制的高穩定性設計
  • 完全非接觸式
  • 可量測任何接地的導體表面,表面完整性與反射性不會影響量測結果(與光學式產品相比的最大優點)
  • 探頭採完全不需散熱的設計
  • 有很多種類的探頭可供選擇,就連高耐真空探頭也有
  • 最高可達20kHz量測頻寬
8810系列電容位移感測器 應用
  • 伺服回授檢測
  • 精密滑台定位量測
  • 晶圓表面探測
  • 自動控制的光學架構定位監測
  • 厚度量測
  • 高速伺服回授檢測
  • 振動量測
  • 精密機械校準
  • 軸承檢測
8810系列電容位移感測器
服務熱線:886-2-2655-2200  業務咨詢:151 / 維修校正:185
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