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準分子雷射反射鏡-KRF
    發布時間: 2020-09-02 12:04    
CVI
CVI

準分子雷射反射鏡-KRF: Excimer Laser Mirror 248nm-CVI

適用於45°AOI的大功率紫外線準分子雷射鏡片；ArF（193 nm），KrF（248 nm）或XeCl（308 nm）。這些高質量的準分子雷射鏡片可為ArF，KrF和XeCl雷射的UV工作波長提供高反射率，高表面精度和質量，以及高激光損傷閾值。有現貨供應0°和45°AOI的反射鏡，以及用戶訂製的半訂製反射鏡，用於193或248 nm的45°AOI。可根據要求提供訂製。
準分子雷射反射鏡-KRF 主要參數
  • 基材：標準級康寧7980 1-D（熔融石英）
  • 直徑公差： + 0 / -0.25mm
  • 厚度公差： ±0.25mm
  • 楔形： ≤5弧分
  • Chamfer: Ø ≤ 50.8mm: 0.35mm leg width at 45° nominal
    Ø > 50.8mm: 0.85mm leg width at 45° nominal
  • S1表面圖：< λ/10 p-v at 633nm before coating;after coating on select substrates
  • S1表面質量：每MIL-PRF 13830b（100W時）10-5刮痕
  • S2表面質量：Commercial polish
  • 通光孔徑： ≥中心直徑的85％
  • 附著力和耐久性：符合MIL-C-48497a
  • 入射角：僅45°
  • 反射率（在193nm下）：在45°下R≥96.0％，UNP
  • 反射率（在248nm下）：在45°下R> 99.0％，UNP
  • 損壞閾值： 1 J/cm², 20ns pulse at 193nm
    3 J/cm², 8ns pulse at 248nm
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