反射式相位延遲鏡 Ⅱ-Ⅵ

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反射式相位延遲鏡

發布時間: 2020-09-23 15:33

Ⅱ-Ⅵ

美國II VI CO₂雷射反射式相位延遲鏡(圓偏振鏡)應用中金屬切割和其他重要的雷射加工對切縫寬度或橫切面發生的任何變化都很敏感。切縫的品質取決於相對於切割方向的光偏振方向。如Figure 1所示。根據現有的理論，僅當開始切割時，聚焦光線才會以正入射的方式到照射工件表面。一旦切縫形成，光束會以某個較大的入射角Θ入射金屬切割面，如Figure 2所示。相對於金屬切割面呈s偏振的光比呈p偏振的光更容易被此表面反射，造成了切割品質在不同切割方向的差異。
在光束傳遞路徑上引入一個四分之一波 (90°)CO₂雷射反射式相位延遲圓偏振鏡能消除切縫的變化，因為它會將線偏振光轉換為圓偏振光。圓偏振在任何光束方向上都是由等量的s偏振和p偏振組成的，因此在所有的軸向都會具有相同成份的偏振，無論切割方向如何，都將以均一的方式去除材料。如下方的圖片所示。

切割縫光滑：由圓偏振光製作的切割樣

切割縫粗糙：由線偏振光製作的切割樣

如Figure 3所示，將線偏振光偏振方向與入射平面成45°，再以45°入射角照在CO₂雷射反射式圓偏振鏡上，反射光將會轉化成圓偏振光。相位延遲器的基底應根據所用雷射功率來選擇。我們有多種基底材料可供選擇，包括致冷銅。您也可以選用八分之一和十六分之一波相位延遲片的反射式圓偏振鏡設計，亦可選擇用於10.6µm波長之外的其他峰值波長的設計。
反射式相位延遲鏡主要參數

尺寸公差：直徑： +0.000”/ -0.005”
厚度： ±0.010”
平行度：≦ 3弧分
通光孔徑（已拋光）：直徑的 90%
Surface Figure（徑向偏離度/不規則度）@0.63µm：≦2 條紋/0.5條紋
Scratch-Dig：0-5
反射率 @ 10.6µm：≧ 98%
相位延遲（@ 10.6µm，45º入射角）：90º ±3º
橢圓率：0.90-1.11

反射式相位延遲鏡系列規格：

Part #	材料	直徑 (inches)	直徑 (mm)	邊緣厚度 Thickness (inches)	邊緣厚度 Thickness (mm)	相位偏移 @ 10.6µm (degrees)
498237	Si	1.5	38.1	0.16	4.06	90+/-6
893833	Si	2.0	50.8	0.20	5.08	90+/-2
582132	Si	2.0	50.8	0.20	5.08	90+/-2
592353	Si	2.0	50.8	0.375	9.53	90+/-6
102719	Si	2.0	50.8	0.170	5	90+/-2
969917	Si	2.0	50.8	0.40	10.16	90+/-6
772930	Si	2.677	68	0.80	20.32	90+/-1
697768	Si	3.0	76.2	0.236	6	90+/-6
224094	Si	3.0	76.2	0.25	6.35	90+/-6
390686	Cu	1.5	38.1	0.25	6.35	90+/-6
666269	Cu	1.969	50	0.394	10	90+/-6
832944	Cu	2.25	57.15	0.394	10	90+/-2
488199	Cu-WC*	2.25	57.15	1.25	31.75	90+/-6
800102	Cu	2.362	60	0.394	10	90+/-2
634413	Cu	2.362	60	0.591	15	90+/-2
748680	Cu	3.0	76.2	0.50	12.7	90+/-6
744069	Cu	3.0	76.2	0.591	15	90+/-2
*Cu-WC: water-cooled copper Contact a II-VI sales representative for exact specifications.