Custom Slanted Gratings(客製化傾斜光柵結構)
發布時間: 2020-11-11 14:40
NIL TECHNOLOGY
NILT生產高品質的客製化傾斜光柵模板,成品精度與均勻度是業界首屈一指,特有的傾斜光柵生產專利,使得現今很紅的AR眼鏡導光板生產,有了革命性的突破,生產的結構有低錐度、高平整度特性。
Custom Slanted Gratings(客製化傾斜光柵結構)特點
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極佳的結構精度
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極佳的結構一致性
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結構底部平坦
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結構平行/低錐度
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高平坦度/低粗糙度
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形狀獨特
Custom Slanted Gratings(客製化傾斜光柵結構)主要參數
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Sub-Master材料:硬聚合物鍍膜於晶體基板上(Glass, Fused silica)
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傾斜角(法線夾角):0-50° (精度+/- 2°)
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柵深度:最高可達400 nm
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最大結構尺寸:6″ 直徑
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光柵間距:> 100 nm
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最小尺寸:50 nm
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最大深寬比:1 : 3
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平行度:+/- 1.5 deg
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平整度(底部):1 nm
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平整度(頂部):5 nm@深度200 nm