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ATLEX-S準分子雷射
    發布時間: 2020-12-08 16:42    
ATL
ATL Lasertechnik
ATLEX-S-Series-Laser 是一款非常緊湊的紫外光源，中低佔空比準分子雷射，波長ArF 193nm雷射，KrF 248nm雷射
ATLEX-S準分子雷射 特點
  • 超緊湊尺寸
  • 電暈電離產生雷射
  • 高壓固態雷射脈衝產生
  • 激光頭體積 < 3L (公升)
  • TMC（全金屬陶瓷）雷射管容器
  • 集成真空泵和鹵素過濾器於一體
  • 完全風冷的主動散熱管理模組
  • 用於系統集成的 RS-485、RS232、USB 和光纖接口
  • 方便清理的光學支架
  • 能量穩定的模式
  • 符合歐洲 CE 標準
  • RoHS 規範
ATLEX-S準分子雷射 應用：
  • 醫學（屈光近視手術）
  • 雷射光譜學
  • 雷射微加工
  • 測試和測量
ATLEX-S 主要參數
ATLEX-S Specifications
Gas Medium
ArF KrF Units
Wavelength
193 248 nm
High Voltage Switching Technique
Solid State Switch Solid State Switch
Max. Rep. Rate
300 500 300 500 Hz
Max. Pulse Energy 1
10 10 15 15 mJ
Max. Average Power
 2,4
  4
  4
 6
  W
Pulse Duration 2
5 – 8 ns
Beam Dimensions 2 (V x H)
4 x 6 mm
Beam Divergence 2 (V x H)
1 x 2 mrad
Energy Stability (standard deviation)
< 3 %
Dimensions (LxWxH) click here for details
630 x 400 x 300 mm
Weight
65 kg
Cooling
Air  
Power requirement
230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz  
All specifications are typical data and subject to change without notice due to product improvements.
  • Measured at low rep.rates; allow 10% reduction of output energy and power for laser equipped with stabilization mode.
  • Typical value, FWHM
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