HIGH-Q SI3N4 薄膜窗

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HIGH-Q SI3N4 薄膜窗

發布時間: 2023-03-22 15:20

Norcada

Norcada主要生產化學計量比的氮化矽薄膜窗，主要針對對使用具有高機械品質因數（High-Q）的Si3N4薄膜在非常低的溫度下研究腔體光機械系統的量子行為的研究人員。我們的NX系列化學計量比的Si3N4薄膜窗口是在200um厚度的矽框架上製造的。我們的QX系列則帶有500um厚的矽框架。所有的化學計量比薄膜窗口都是由具有1.0GPa高拉應力的Si3N4薄膜製成的。
HIGH-Q SI3N4 薄膜窗系列規格
Stoichiometric Si3N4 Membranes on 5x5mm 200µm Thick Silicon Frame

Part Number	Nitride Thick	Window Size	Frame Size
NX5050XS	30nm	0.5×0.5mm	5x5mm
NX5050AS	50nm	0.5×0.5mm	5x5mm
NX5100AS	50nm	1.0×1.0mm	5x5mm
NX5150AS	50nm	1.5×1.5mm	5x5mm
NX5200AS	50nm	2.0×2.0mm	5x5mm
NX5050CS	100nm	0.5×0.5mm	5x5mm
NX5050C+S	150nm	0.5×0.5mm	5x5mm
NX5050DS	200nm	0.5×0.5mm	5x5mm
NX5100DS	200nm	1.0×1.0mm	5x5mm