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UA-24279210-1---
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SMARPROBE奈米探針系統
發布時間: 2023-09-13 14:47
SmarAct
SMARPROBE奈米探針系統卓越的性能
．完全編碼，分辨率為 1 nm．主動式位置鎖定
．大掃描範圍和低熱漂移
．全 30 x 30 mm 的大面積探測
．高速 EBAC/EBIC 成像
．一體化用戶界面
．所有探針自動接觸和對準
．SEM 圖像中的“點擊”導航
．群體動作與“逐步和重複”指令
．樣品和探針的 CAD 導航
SMARPROBE奈米探針系統主要應用領域
奈米探針
電子束吸收電流(EBAC)SMARPROBE奈米探針系統主要參數
SMARPROBE Nanoprober| 探針座夾持器 | XYZ 閉迴路設計 |
| 夾持器數量 | ≤ 8 |
| 樣品平台 | XYZ閉迴路設計 |
| 探針範圍 [mm] | 25 x 25 |
| XYZ掃瞄範圍[µm] | > 10 |
| 熱飄移係數[nm/min] | < 1 |
| 清潔方法 | 適用於電漿清潔 |
| 探針座 | 標準化直徑0.25或0.5 mm鎢探針 |
| 電子連接點 | Coax |
SMARPROBE奈米探針系統
服務熱線：886-2-2655-2200 業務咨詢：151 / 維修校正：185
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