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PICOSCALE雷射干涉儀

發布時間: 2023-09-13 16:57

SmarAct

PICOSCALE雷射干涉儀是一款3組平行雷射的雷射干涉儀，主要用作3D精度量測使用，量測頻寬可達2.5MHz(10 MHz採樣速度)，解析度達1皮米(Pico Meter)，可以用於量測各種不同的材料表面，包含：塑膠、玻璃、金屬，甚至是水表面。廣範圍設計的感測頭，可用在許多不同應用與操作環境(包含真空與低溫)。
所有 PICOSCALE 產品均基於邁克爾遜干涉儀，這是一種測量位移和振動的精確方法。邁克爾遜干涉儀由波長穩定雷射、分光器、目標和參考鏡組成。在分光器上，來自雷射的光被分成兩束。一根臂指向目標表面，而另一臂指向參考鏡。雙臂發出的光線分別經過目標面和參考鏡反射後，返回分光鏡。在這裡，雙臂重新組合併發生干擾。干涉信號包含目標表面相對於參考鏡的位移信息。

PICOSCALE雷射干涉儀主要應用領域

壓電掃描儀的精密位移測量

運動平台的直線度量測

干涉儀精度的閉迴路控制系統

玻璃鏡片的聲波紀錄

PICOSCALE雷射干涉儀主要參數

PICOSCALE V2干涉儀

解析度與雜訊	Pico Meter Scale
重複性[nm]	<1
精度(length proportional)	10^-6
長時間穩定度[nm] (WD:20 mm,常壓常溫環境,量測頻寬：1.2 kHz)	1
最高樣品速度[m/s]	2
樣品反射率	4% - 100%
最大工作距離[mm]	5000
Absolute Position Estimation	1% of working distance