TRIPOD 52-6DoF類六軸系統 Hexapod-like Positioning System ∣ SmarAct

SmarAct的TRIPOD 52-6DoF類六軸系統具有六個軸向自由度，並使用SMARSLIDE高精度壓電定位器。TRIPOD 52-6DoF的核心組件是TRIPOD 52-Core平行運動tip-tilt平臺。其設計具有三個徑向排列的塔柱，允許頂板進行roll and pitch運動，Rx方向總行程為20°，Ry方向為19°，Z方向的線性位移為6毫米。在TRIPOD 52-Core的頂部有著SR-3211旋轉臺允許環繞Z軸進行無限旋轉。TRIPOD 52-Core完全兼容CLS-52模組化系統，並安裝在由兩個CLS-52線性平移臺組成的XY平台上。底板允許直接安裝在具有25mm網格的標準光學基板上。旋轉行程的數值是基於頂板表面的旋轉軸心而定。整個系統的整體尺寸可能因平台運動姿勢不同而略有變化。更多訊息請參見下載區域的CAD模型。重複精度是在每個系統的頂板上方約20毫米處，通過全行程範圍內單個自由度進行測量的。對於較短的行程範圍其重複精度表現可能會更好。

TRIPOD 52-6DoF類六軸系統 Hexapod-like Positioning System 主要參數

Mechanical
Travel [mm]	31 (X); 31 (Y); 6 (Z)
Travel [°]	20 (Θx); 19 (Θy); 360 (Θz)
Max. Normal Force [N]	3
Max. Horizontal Force [N]	2.5
Dimension [mm]	90 x 90
Height of Platform above Ground [mm]	79.5
Weight [g]	490
Closed-loop
Sensor type	SC
Smallest Increment [nm]	1
Smallest Increment [µ°]	3
Uni-Directional Repeatability MCS2 [nm]	+/- 50