TRIPOD 92-6DoF 類六軸系統 Hexapod-like Positioning System
發布時間: 2023-09-25 15:54
SmarAct
TRIPOD 92-6DoF 類六軸系統 Hexapod-like Positioning System ∣ SmarAct
SmarAct較大的TRIPOD 92-6DoF類六軸運動系統具有六個自由度,使用SMARSLIDE高精度壓電平台,並且完全兼容CLS-92模組化系統。TRIPOD 92-6DoF的核心組件是TRIPOD 92-Core平行運動tip-tilt平臺。其設計具有三個徑向排列的塔柱,允許頂板進行roll and pitch運動,Rx方向總行程為31°,Ry方向為27°,Z方向的線性位移為11毫米。在TRIPOD 92-Core的頂部,SR-5714C旋轉臺允許環繞Z軸進行無限旋轉。TRIPOD 92-Core完全兼容CLS-92模組化系統,並安裝在由兩個CLS-92線性平移臺組成的XY平台上。底板允許直接安裝在具有25mm網格的標準光學基板上。旋轉行程的數值是基於頂板表面的旋轉軸心而定。整個系統的整體尺寸可能因運動姿勢不同而略有變化。更多訊息請參見下載區域的CAD模型。重複精度是在每個系統的頂板上方約20毫米處,通過全行程範圍內單個自由度進行測量的。對於較短的行程範圍其數值表現可能會更好。
TRIPOD 92-6DoF 類六軸系統 Hexapod-like Positioning System 主要參數
Mechanical
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Travel [mm]
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63 (X); 63 (Y); 11 (Z)
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Travel [°]
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31 (Θx); 27 (Θy); 360 (Θz)
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Max. Normal Force [N]
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3.5
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Max. Horizontal Force [N]
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1.75
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Dimension [mm]
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142 x 142
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Height of Platform above Ground [mm]
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94.35
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Weight [g]
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1439
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Closed-loop
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Sensor type
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SC
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Smallest Increment [nm]
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1
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Smallest Increment [µ°]
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3
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Uni-Directional Repeatability MCS2 [nm]
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+/- 50
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TRIPOD 92-6DoF 類六軸系統 Hexapod-like Positioning System