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壓電六軸平台X-BOT-50
    發布時間: 2023-10-23 11:35    
Micronix
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壓電六軸平台X-BOT-50 ∣ Micronix

壓電六軸平台X-BOT-50是一款高度為60毫米的微型“六軸運動平台”,用於以奈米分辨率進行6個自由度的精密部件的定位和調整。 完整的 360° z 軸旋轉可以整合在承載平台下方。 提供 HV 和 UHV 以及非磁性版本。 可依要求提供客製行程範圍。

壓電六軸平台X-BOT-50特點

.行程: ±14XY, ±2.5 Z, ±9°Rx, ±10°Ry, Rz 360°
.解析度: 12.5nm
.重複定位精度: 50nm
.負載: 200g
.最大速度: 5 mm/s ; 10 °/s (MMC-110)
.中心高度: 60mm
壓電六軸平台X-BOT-50
服務熱線:886-2-2655-2200  業務咨詢:151 / 維修校正:185
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