Scanner16-xy電動掃描台

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Scanner16-xy電動掃描台

發布時間: 2023-11-10 10:41

Zolix

Scanner16-xy電動掃描台
低溫· 壓電運動-最⼩尺⼨掃描台
Scanner16-xy電動掃描台特點：
•緊湊的設計，外型尺⼨ : 16*16*7 mm
•超⾼真空 & 極低溫相容: 2 E- 11 mbar & 30 mK
•無磁性材料純Ti & BeCu組成，相容於18 Tesla磁場
•⾼負載: 100 g
•⾏程@300K: 30*30 um
•空間掃描達到0.5nm 分辨率
尺寸圖

Scanner16-xy電動掃描台主要參數
低溫壓電位移台-對導線電阻原則上無要求(建議低於50歐姆)

可選版本⇨	.HV (default)	.ULT	.UHV	.ULT.UHV
.HV 版本, 預設產品; .ULT 版本, He3或稀釋低溫系統中使⽤ .UHV 版本, 相容2E- 11 mbar
1 尺⼨	16 × 16 mm × 7 mm
2 重量	8g
工作環境
3 基礎	溫度範圍: 1.4 ~ 400 K 真空: 2e-7 mbar 最⼤磁場: 18 Tesla
4 可選1 - 30 mK		✓		✓
5 可選2 - 2e- 11 mbar			✓	✓
材料
6 主體	純Ti	鈹銅	純Ti	鈹銅
7 線纜	磷銅雙絞線, 20cm
8 插針材料	Polyster (glass Þ ber Þ lled), BeCu		Peek, BeCu
9 插針數⽬	每個掃描維度2 pins
運動參數
10 掃描維度	X, Y
11 ⾏程@300 K	30 × 30 um
12 驅動電壓	Max. 75 V @300 K Max. 180 V @4 K
13 最⼤負載	100 g
14 電容@300 K	1 uF
15 分辨率	0.5 nm
16 線性度誤差	Typical ~ 0.1 %
17 可重複性	< 10 nm