壓電線性位移台-LS65x.Lab.O/.R

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壓電線性位移台-LS65x.Lab.O/.R

發布時間: 2023-11-15 10:39

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壓電線性位移台-LS65x.Lab.O/.R(閉環)
壓電線性位移台-LS65x.Lab.O/.R(閉環) ∣ 室溫·壓電運動解決⽅案—“.Lab 系列“ 良好封裝的位移台，外型緊湊，動⼒性能不折扣的壓電線性台；同時保證優質的價格空間。
壓電線性位移台-LS65x.Lab.O/.R特點：
•超安靜運動， 20 kHz驅動頻率
•65 mm × 65 mm × 13 mm極緊湊外型設計
•閉迴路控制· 位置感測⽀持電阻型(.R) 與光學型(.O)
•⾼精度· 空間感測解析度(.O) 1 nm 、10 nm可選
•經濟型· 空間感測解析度(.R) 100-200nm
•最⼩步伐優於10 nm
•可提供多軸堆疊安裝轉接件
•控制器相容旋轉台，搖擺台
•⽀持無磁(.NM)、⾼真空(.HV)及超⾼真空 (.UHV)選件
二維尺寸圖

壓電線性位移台-LS65x.Lab.O/.R 主要參數

可選版本⇨	標準版本	.NM	.HV	.UHV
.NM 絕對無磁版本; .HV 高真空版本; .UHV 超⾼真空版本
1 尺⼨	65 × 65 mm × 13 mm
2 主體材料	不銹鋼	純鈦	不銹鋼	不銹鋼
3 線纜& 接頭	標準屏蔽線纜 DSub9 接頭		kapton漆包線， PEEK-2mm插針
運動參數-空間建議安裝形式I. (下列性質皆在建議安裝形式下測得)
4 運動⾏程	30 mm
5 最⼤速度	~ 20 mm/s
6 最⼩步伐	~ 10 nm
7 驅動頻率	Max. 20 kHz (超安靜運動)
8 最⼤⽔平推⼒	2 N
9 保持⼒	5 N
10 全⾏程俯仰/偏擺	0.3 mrad / 0.2 mrad
運動參數-空間建議安裝形式II. (下列性質皆在建議安裝形式下測得)
11 最⼤垂直負載	2 N
12 保持⼒	5 N
感測精度
13 位置感測類型	- 電阻型感測( .R ) - 光柵尺感測( .O )
14 位置感測量程	30 mm
15 位置感測分辨率	- 電阻型感測( .R )， 100-200 nm - 光柵尺感測( .O )， 10 nm， 1nm可選(預設10nm)