壓電自動掃描平台Carrier.L7550.XY / Carrier.1010.XY

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壓電自動掃描平台Carrier.L7550.XY / Carrier.1010.XY

發布時間: 2023-11-29 16:46

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壓電自動掃描平台 Carrier.L7550.XY / Carrier.1010.XY
⼤範圍壓電掃描台室溫 ·壓電運動⽅案—“Carrier. 系列“ 大行程載物台— 精密光學，半導體表徵
壓電自動掃描平台 Carrier.L7550.XY / Carrier.1010.XY 特點
• XY ⽅向⼤⾏程：75 mm × 50 mm【Carrier.L7550.XY】； 100 mm × 100 mm【Carrier.1010.XY】
• 最⼩步伐尺⼨：~10 nm【Carrier.L7550.XY】； 20 nm【Carrier.1010.XY】
• 最⾼速度 10 mm/s
• 位置感測器解析度：1nm
• 全⾏程運動中，確保通孔85 mm × 65 mm
• ⽀持無磁( .NM ) & 超⾼真空( .UHV )
• 主體鋁合⾦(硬質氧化髮⿊)
二維尺寸圖
Carrier.L7550.XY

Carrier.1010.XY

壓電自動掃描平台 Carrier.L7550.XY / Carrier.1010.XY 主要參數

	Carrier.L7550.XY	Carrier.1010.XY
基本訊息
Active axes 運動軸	X Y
Size 底面尺寸*高度	250 mm × 200 mm × 30 mm	250 mm × 200 mm × 40 mm
Max Installation Space 最大安裝空間	325 mm × 250 mm	350 mm × 350 mm
Through Hole ( Effective ) 有效穿孔	85 mm × 65 mm	120 mm × 120 mm
Upgrade options 升級選項	擴展可選：HV，高真空版本；UHV，超高真空版本；
Materials 材料	鋁合金
Cable Length 線纜長度	HV，標準屏蔽線纜D-Sub-15 ；UHV，Kapton漆包線PEEK-2mm插針；
Operating Temperature Range 工作溫度	10 – 40 °C
Weight 重量	2333 g
運動參數-空間建議安裝形式I.（下列性質皆在建議安裝形式下測得）
Travel Range 行程	75 mm × 50 mm	100 mm × 100 mm
Max. Speed 最大速度	~ 15 mm/s	~ 10 mm/s
Step Size 最小位移	～ 5 nm
Maximum Step Frequency 最大驅動頻率	Max. 20 kHz （超安靜運動）
Load Capacitance 最大負載	2 kg	4 kg
全行程俯仰/偏擺	0.8 mrad（0.46°）
感測精度
Sensor Type 感測器類型	– 光柵尺感測（.O ）
位置感測量程	75 mm × 50 mm	100 mm × 100 mm
位置感測分辨率	Optic Encoder（.O ）， 4.88nm, 2.44nm, 1nm，10nm optionnal（10nm by default）