⼤範圍壓電掃描台Carrier.S200.XY

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⼤範圍壓電掃描台Carrier.S200.XY

發布時間: 2023-11-30 10:38

Zolix

⼤範圍壓電掃描台Carrier.S200.XY
室溫·壓電運動⽅案—“Carrier. 系列“ ⼤⾏程掃描載物台—精密光學，半導體表徵
⼤範圍壓電掃描台Carrier.S200.XY 特點
• 兩維度XY 掃描運動200 um × 200 um；
• 閉環定位精度優於 1nm；
• 最⼤負載500 g；
• 針對光學顯微鏡-超分辨客製化解決⽅案；
• ⽀持無磁( .NM)和⾼真空( .UHV)選購品升級
⼤範圍壓電掃描台Carrier.S200.XY 主要參數

可選版本⇨	正常版本
.NM 絕對⽆磁版本； .HV，⾼真空版本 ; .UHV ，超⾼真空版本；
1 底⾯尺⼨*⾼度	180 mm × 150 mm × 20 mm
2 主體材料	鋁合⾦
3 中空透孔	80 mm × 60 mm
4 運動⾏程	200 um × 200 um
5 閉環分辨率	優於1nm
6 推薦最⼤負載	500 g
7 閉環感測器	電容式
8 電容精度	0.3 nm
9 壓電電容(X, Y)	6.5 uF
10 推薦使⽤溫度	15 到40 攝⽒度
11 質量	1 kg
12 安裝	螺紋孔⾃動相容於 Carrier.L7550.XY