物鏡⾃動對焦掃描台Carrier.S100-OB.Z 壓電·⼤範圍掃描運動

室溫·壓電運動⽅案—“Carrier系列“大行程載物台—精密光學，半導體表徵
物鏡⾃動對焦掃描台Carrier.S100-OB.Z
物鏡⾃動對焦掃描台Carrier.S100-OB.Z 特點
• 兩維度XY 掃描運動200 um × 200 um；
• 閉環定位精度優於 1nm；
• 最⼤負載500 g；
• 針對光學顯微鏡-超分辨客製化解決⽅案；
• ⽀持無磁(.NM)和⾼真空(.UHV)選購品升級
物鏡⾃動對焦掃描台Carrier.S100-OB.Z 主要參數

可選版本⇨	正常版本
.NM 絕對⽆磁版本；
.HV，⾼真空版本 ;
.UHV ，超⾼真空版本；
運動⽅向	Z 軸
⾏程	100 um
線性度	0.0002
搖擺/ 俯仰	30 urad
內建感應器	電容式感測
感測器噪⾳	0.3 nm
Z ⽅向分辨率，開環	0.1 nm
穩定時間(90%位置到達)	15 ms
剛性	0.4 N/um
共振頻率(⽆負載)	650 Hz
共振頻率( 150 g 負載)	275 Hz
整體重量	270 g
主體材料	不鏽鋼304 ，鋁合⾦