






| 可選版本⇨ | 標準版本 | .NM | .HV | .UHV |
|---|---|---|---|---|
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.NM 絕對無磁版本; .HV 高真空版本; .UHV 超⾼真空版本 |
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| 1 尺⼨ | 25 × 25 mm × 8 mm | |||
| 2 主體材料 | 不銹鋼 | 純鈦 | 不銹鋼 | 不銹鋼 |
| 3 線纜& 接頭 |
標準屏蔽線纜 DSub9 接頭 |
kapton漆包線, PEEK-2mm插針 |
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| 運動參數-空間建議安裝形式I. (下列性質皆在建議安裝形式下測得) | ||||
| 4 運動⾏程 | 8 mm | |||
| 5 最⼤速度 | ~ 20 mm/s | |||
| 6 最⼩步伐 | ~ 15 nm | |||
| 7 驅動頻率 | Max. 20 kHz (超安靜運動) | |||
| 8 最⼤⽔平推⼒ | 2 N | |||
| 9 保持⼒ | 5 N | |||
| 10 全⾏程俯仰/偏擺 | 0.3 mrad / 0.2 mrad | |||
| 運動參數-空間建議安裝形式II. (下列性質皆在建議安裝形式下測得) | ||||
| 11 最⼤垂直負載 | 2 N | |||
| 12 保持⼒ | 5 N | |||
| 感測精度 | ||||
| 13 位置感測類型 |
- 電阻型感測( .R ) - 光柵尺感測( .O ) |
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| 14 位置感測量程 | 8 mm | |||
| 15 位置感測分辨率 | ~ 150 nm | |||
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