壓電·單維度掃描運動S100. zC

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壓電·單維度掃描運動S100. zC

發布時間: 2023-12-05 16:25

Zolix

壓電·單維度掃描運動S100.zC
緊湊型單軸Z方向運動，電容位置閉環控制
壓電·單維度掃描運動S100.zC 特點
• Z方向掃描運動100 um;
• 外形尺寸，40 mm x 40 mm x 18 mm；
• 閉環定位精度優於1 nm (開環版本可選)；
• 最大負載500 g；
• 支援無磁（.NM）和高真空（.UHV）選購品升級；
壓電·單維度掃描運動S100.zC 主要參數

可選版本⇨	S100.zC
基本訊息
Motion Direction 動作方向	Z 方向
Size 產品尺寸	40 × 40 mm × 18 mm
Main Material 主體材料	正常版本，不銹鋼 .NM ，鋁合金，不銹鋼 .UHV，鋁合金，純鈦
Travel range 運動行程	100 um（閉環）
Cables & Connectors 線& 接頭	1 m/D-sub 3W3
運動 & 定位
Motion Resolution 運動分辨率	0.2 nm
搖擺/俯仰	± 25 urad
Linear Error 線性誤差	優於0.02%
Resonance Frequency 共振頻率	500 Hz
Rigidity 剛性	0.5 N/um
Max. Load 最大負載	500 g
Encoder Type 閉環感知器閉環感知器（閉環版本）	電容式
Piezo Capacity (Z) 壓電電容(Z)	150 V
其他資訊
Recommended Operation Temperature 推薦使用溫度	-20 ~ 80 °C
Weight 重量	150g