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壓電·單維度掃描運動S300.xC
    發布時間: 2023-12-05 16:44    
Zolix
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壓電·單維度掃描運動S300.xC
標準單軸掃描運動模組,支援電容&電阻閉環控制
壓電·單維度掃描運動S300.xC 特點
• X 方向運動範圍300 um;
• 外形尺寸,50 mm x 50 mm x 17 mm;
• 閉環定位精度優於0.4 nm (開環版本可選);
• 最大負載500 g;
• 支援無磁(.NM)和高真空(.UHV)選購品升級;
壓電·單維度掃描運動S300.xC 主要參數
可選版本⇨ S300.xC
基本訊息
Motion Direction 動作方向 X,方向
Size 產品尺寸 50 mm × 50 mm × 17 mm
Main Material 主體材料 鋁合金& 不銹鋼
Travel range 運動行程 300 um(開環) 250 um (閉環)
Upgrade options 升級選項 擴展可選:NM, 絕對無磁性版本;UHV,超高真空版本;
運動 & 定位
Motion Resolution 運動分辨率(開環) 3 nm
Linear Error 線性誤差 優於0.1%
Resonance Frequency 共振頻率 350 Hz
Max. Load 最大負載 500 g
Encoder Type 閉環感知器閉環感知器(閉環版本) 電容式
位置精度 1.5 nm
Max Operating Voltage 驅動電壓 150 V
其他資訊
Recommended Operation Temperature 推薦使用溫度 -20 ~ 80 °C
Weight 重量 200 g
Cable Length 線纜長度 1m / D-Sub 3W3

服務熱線:886-2-2655-2200  業務咨詢:151 / 維修校正:185
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