壓電·二維/三維掃描運動S100.Lab.XY / XYZ

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壓電·二維/三維掃描運動S100.Lab.XY / XYZ

發布時間: 2023-12-06 10:34

Zolix

壓電·二維/三維掃描運動S100.Lab.XY / XYZ
針對精密光學、半導體表徵等「3自由度掃描運動」需求的客製化解決方案
壓電·二維/三維掃描運動S100.Lab.XY / XYZ 特點
• 二維度XY 掃描運動100 um × 100 um；
• 三維XYZ 掃描運動100 um × 100 um × 100 um；
• 外型尺寸， 55 mm × 55 mm × 40 mm；
• 閉環定位精度優於1 nm；
• 最大負載500 g；
• ⽀持無磁力(.NM) 和高真空(.UHV) 選購件升級
壓電·二維/三維掃描運動S100.Lab.XY / XYZ 主要參數

可選版本⇨	S100.XY/XYZ.C
基本訊息
Motion Direction 動作方向	S100.Lab.XY: X, Y, 方向 S100.Lab.XYZ: X, Y, Z 方向
Size 產品尺寸	55 mm × 55 mm × 40 mm
Main Material 主體材料	鋁合金/ 不銹鋼
Travel range 運動行程	S100.XY.C: 100 um × 100 um S100.XYZ.C: 100 um × 100 um × 100 um
Upgrade options 升級選項	擴展可選：NM，絕對無磁性版本；UHV，超高真空版本；
運動 & 定位
Motion Resolution 運動分辨率	0.2 nm(開環) 1nm（閉環）
Linear Error 線性誤差	優於0.1%
Resonance Frequency 共振頻率	S100.XY.C: 400 Hz，350 Hz S100.XYZ.C: 300 Hz
Rigidity 剛性	0.5 N/um S100.XYZ.C: 300 Hz
Encoder Type 閉環感知器閉環感知器（閉環版本）	電容式
Piezo Capacity (Z) 壓電電容(Z)	150 V
其他資訊
Recommended Operation Temperature 推薦使用溫度	-20 ~ 80 °C
Weight 重量	500g