壓電·高速單軸掃描運動SD15.xC / SD30.xC

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壓電·高速單軸掃描運動SD15.xC/SD30.xC

發布時間: 2023-12-06 11:37

Zolix

壓電·高速單軸掃描運動SD15.xC/SD30.xC
針對精密光學、半導體表徵等「3自由度掃描運動」需求的客製化解決方案
壓電·高速單軸掃描運動SD15.xC / SD30.xC 特點
• X方向掃描運動15 um,30 um；
• 外形尺寸，62 mm x 40 mm x 13.5 mm(SD15.xC)，
80 mm x 40 mm x 13.5 mm(SD30.xC)；
• 閉環定位精度優於0.1 nm；
• 電容位置感測器；
• 高速運動反應；
• 真空（.HV），高真空（.UHV）選購品升級；
壓電·高速單軸掃描運動SD15.xC / SD30.xC 主要參數

可選版本⇨	S15.xC	S30.xC
基本訊息
Motion Direction 動作方向	X, 方向
Size 底面尺寸*高度	62 mm × 40 mm× 13.5 mm	80 mm × 40 mm× 13.5 mm
Main Material 主體材料	鋁合金
Travel Range 運動行程	15 um （閉環）	30 um（閉環）
Upgrade options 升級選項	擴展可選：HV，高真空版本；UHV，超高真空版本；
運動 & 定位
Motion Resolution 運動分辨率	0.1nm	0.2 nm
Repeatability 運動重複精準度	2 nm	4 nm
Linear Error 線性誤差	優於0.035%
Pitch 搖擺	2 urad
Yaw 俯仰	2 urad
Resonance Frequency 共振頻率	3.3 kHz	3.3 kHz
Resonance Frequency 共振頻率(300g 負載)	1 kHz	0.625 kHz
Rigidity 剛性	28 N/um	18 N/um
Encoder Type 閉環感應器（閉環版本）	電容式
其他資訊
Recommended Operation Temperature 推薦使用溫度	-20 ~ 80 °C
Weight 重量	250 g	350 g
Cable Length 線纜長度	1 m / D-sub 3W3
適配控制器	Archimedes 系列控制器