可選版本⇨ | Carrier.OB050.C | Carrier.OB100.C |
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基本訊息 | ||
Motion Direction 動作方向 | Z 軸 | |
Travel range 運動行程 | 50um | 100um |
Upgrade options 升級選項 | 擴展可選:NM, 絕對無磁性版本; .HV, 高真空版本; UHV,超高真空版本 | |
線性度 | 0.02% | 0.03% |
內建感應器 | 電容式感測 | |
感應器噪音 | 1 nm | |
Z方向分辨率,開環 | 0.2 nm | |
穩定時間(90%位置到達) | 10 ms | 15 ms |
Resonance Frequency(無負載) | 600 Hz | 500 Hz |
Resonance Frequency(150 g 負載) | 300 Hz | 250 Hz |
Main Material 主體材料 | 不銹鋼304,鋁合金 | |
Weight 重量 | 270 g |
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