掃描運動·高負載通孔型Carrier.HS100.xy.Ｃ / Carrier.HS100.xyRz.C

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掃描運動·高負載通孔型Carrier.HS100.xy.Ｃ / Carrier.HS100.xyRz.C

發布時間: 2023-12-11 14:59

Zolix

掃描運動·高負載通孔型
Carrier.HS100.xy.Ｃ – 高負載·高速XY平面運動，大通孔設計，並聯設計+電容閉環感測
Carrier.HS100.xyRz.C – 高負載·高速XY平面運動，Z軸旋轉設計，確保XY面內準直運動
掃描運動·高負載通孔型特點
• 兩維度xy掃描運動100 um【Carrier.HS100.xy.Ｃ】；兩維度xy 掃描運動100 um,z軸旋轉運動1 mrad【Carrier.HS100.xyRz.C】
• 閉環解析度優於1 nm；
• 最大負載3.5 kg；
• 針對光學顯微鏡-超解析度客製化解決方案；
• 支援無磁（.NM ）和高真空（.UHV ）選購品升級；
掃描運動·高負載通孔型Carrier.HS100.xy.Ｃ主要參數

可選版本⇨	Carrrier.- HS100.xy.C	Carrier. H S100.xyRz.C
基本訊息
Motion Direction 動作方向	X, Y, 方向	X, Y, 方向+ Rz 旋轉
Size 產品尺寸	150 mm × 150 mm × 30 mm
Main Material 主體材料	鋁合金/ 不銹鋼
Travel range 運動行程	100 um × 100 um	100 um × 100 um Rz：1 mrad
Upgrade options 升級選項	擴展可選：NM，絕對無磁性版本；UHV，超高真空版本；
Hollow Through Hole 中空透孔	66 mm × 66 mm
運動 & 定位
線性度誤差（z方向運動）	0.035%
Motion Resolution 運動分辨率	1nm / 0.2nm
Repeatability 運動重複精準度	± 10 nm
Rigidity 剛性	2 N/ um
Resonance Frequency 共振頻率（空載/2.5 kg）	420 Hz/ 130 Hz
Max. Load 最大負載	3.5 kg
Encoder Type 閉環感應器（閉環版本）	電容式
Max Operating Voltage 驅動電壓	150 V
其他資訊
Recommended Operation Temperature 推薦使用溫度	15 ~ 40 °C
Weight 重量	1Kg