奈米定位平台

奈米定位平台掃描運動·高負載通孔型Carrier.HS100.zC /Carrier.HS100.zTxTy.C
Carrier.HS100.zC – 高負載·高速Z方向運動，大通孔設計，並聯設計+電容閉環感測
Carrier.HS100.zTxTy.C – 針對Z 方向掃描運動，兩軸搖擺調節，確保真正準直
掃描運動·高負載通孔型Carrier.HS100.zC /Carrier.HS100.zTxTy.C 特點
• Z掃描運動100 um【Carrier.HS100.zC】；三維度Z ，θxy掃描運動【Carrier.HS100.zTxTy.C】
• 閉環解析度優於1 nm • 最大負載：3kg【Carrier.HS100.zC】;2.5kg【Carrier.HS100.zTxTy.C】
• 針對光學顯微鏡-超解析度客製化解決方案；
• 支援無磁（.NM ）和高真空（.UHV ）選購品升級；
• 100 um 行程，1 mrad & 1 mrad【Carrier.HS100.zTxTy.C】
掃描運動·高負載通孔型Carrier.HS100.zC /Carrier.HS100.zTxTy.C 主要參數

可選版本⇨	Carrier.HS100.zC	Carrier.HS100.zTxTy.C
基本訊息
Motion Direction 動作方向	Z 方向	Z，θx & θy
Size 產品尺寸	150 mm × 150 mm × 30 mm
Main Material 主體材料	鋁合金/ 不銹鋼
Travel range 運動行程	100 um	100 um，1 mrad & 1mrad
Upgrade options 升級選項	擴展可選：NM，絕對無磁性版本；UHV，超高真空版本；	擴展可選：UHV，超高真空版本；
Hollow Through Hole 中空透孔	66 mm × 66 mm
運動 & 定位
線性度誤差	0.035%
俯仰/偏擺/旋轉	50 urad / 50 urad / 10 urad
θ線性度誤差		0.15%
Motion Resolution 運動分辨率	1 nm / 0.3 nm	1 nm / 0.5 nm
ΘMotion Resolution θ運動解析度（閉環/開環）		0.05 urad / 0.04 urad
Repeatability 運動重複精準度	± 10 nm	±10 nm, ±0.1urad
Rigidity 剛性	2.5 N/ um	2 N/ um
Resonance Frequency 共振頻率（空載/2.5 kg）	500 Hz/ 200 Hz	480 Hz/ 160 Hz
Θ Resonance Frequency θ共振頻率（空載/2.5 kg）		500 Hz/ 150 Hz
Max. Load 最大負載	5 kg	2.5 kg
Encoder Type 閉環感應器（閉環版本）	電容式
Max Operating Voltage 驅動電壓	150 V
其他資訊
Recommended Operation Temperature 推薦使用溫度	15 ~ 40 °C
Weight 重量	1Kg