壓電·二維/三維掃描運動Carrier.R200

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壓電·二維/三維掃描運動Carrier.R200

發布時間: 2023-12-12 10:46

Zolix

壓電·二維/三維掃描運動Carrier.R200
針對精密光學、半導體表徵等「3自由度掃描運動」需求的客製化解決方案
壓電·二維/三維掃描運動Carrier.R200 特點
• 超安靜運動，20 kHz驅動頻率；
• 極緊湊外形設計，分為35 mm 與65 mm 兩大類；
• 閉迴路控制·位置感測⽀持電阻型(.R) 與光學型(.O)；
• 高精度·空間感測解析度(.O) 0.75 urad；
• 經濟型·空間感測解析度(.R) 1 mrad；
• 最小步伐優於10 nm；
• 可提供多軸堆疊安裝轉接件；
• 控制器相容於位移台，旋轉台和搖擺台；
• 支援無磁性（.NM）和超高真空（.UHV）選購件；
壓電·二維/三維掃描運動Carrier.R200 主要參數

可選版本⇨	Carrier.Ｒ200
基本訊息
Motion Direction 動作方向	Z 軸旋轉
Size 產品尺寸	200mm × 200 mm × 24 mm
Main Material 主體材料	鋁合金
Travel range 運動行程	300°
Upgrade options 升級選項	擴展可選：UHV，超高真空版本；
Hollow Through Hole 中空透孔	φ 190 / φ 60 mm
運動 & 定位
運動方式	連續運動
光柵尺分辨率	1 urad
驅動頻率	Max. 20 kHz
驅動力矩	15 N*mm
Repeatability 運動重複精準度	300 µ° / 6 urad
Max. Load 最大負載	1 kg
Max Operating Voltage 驅動電壓	Max. 120V
其他資訊
Recommended Operation Temperature 推薦使用溫度	15 ~ 40 °C
Weight 重量	2 kg
Install 安裝	螺紋孔自動相容Carrier.L7550