高階共焦拉曼顯微鏡-alpha300 Semiconductor Edition

高階共焦拉曼顯微鏡-alpha300 Semiconductor Edition 特點

• 業界領先的共焦拉曼顯微鏡，可同時實現高速度、高靈敏度和高解析度
• 科學級波長優化光譜儀，具有高訊號靈敏度和光譜分辨率
• 用於晶片檢測的大面積掃描（300 x 350 mm)
• 用於大面積測量的主動聚焦穩定功能（TrueSurface）
• 主動避震
• 為遠端控制和重複測量工作流程提供廣泛的自動化功能
• 進階資料後處理軟體

高階共焦拉曼顯微鏡-alpha300 Semiconductor Edition 規格

• 科學研究級 alpha300 拉曼顯微鏡
• 白光照明，用於樣品概覽
• 300 x 350 毫米掃描平台
• 晶圓卡盤，可選配真空泵
• 用於主動聚焦穩定和地形拉曼成像的 TrueSurface
• 主動避震
• 利用 AutoBeam 技術實現全自動顯微鏡控制
• 提供各種雷射波長
• 高靈敏度、同軸、透鏡式、激發波長優化 UHTS 光譜儀，配備熱電冷卻、科學級光譜 CCD 攝影機
• 使用最新的 WITec 軟體套件進行資料收集和後處理
• 簡化重複性實驗任務的工作流程管理器
• DCOM 介面，可使用 LabVIEW、Python、C# 和其他程式設計工具設計和控制單一測量程序

高階共焦拉曼顯微鏡-alpha300 Semiconductor Edition 應用

CVD 生長的石墨烯的高解析度拉曼影像，根據 D 波段強度（取決於碳晶格中的缺陷密度）進行顏色編碼。	150 毫米碳化矽晶片的共焦拉曼影像。 TrueComponent 分析確定了兩個光譜，其主要差異在於摻雜敏感的 A1 峰（約 990 cm⁻¹ ）。此影像顯示了一個橢圓形區域（藍色），其摻雜濃度不同於晶片主體區域（紅色）。	外延生長的碳化矽晶片的拉曼深度掃描圖，顯示晶片基板（綠色）和外延層（紅色）之間的薄界面層（藍色）。
透過 TrueComponent Analysis 在 150 mm碳化矽晶片中確定的兩種成分的拉曼光譜。	150 毫米碳化矽晶片的共焦拉曼影像，根據對應力敏感的 E2 峰（776 cm⁻¹ ）的位置進行顏色編碼。影像顯示了一個由應力引起的小峰值從晶片中心向邊緣移動。	150 毫米碳化矽晶片的拓樸圖，高度變化達 40µm。

高階共焦拉曼顯微鏡-alpha300 Semiconductor Edition