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多功能光電流掃描成像系統
    發布時間: 2024-11-06 16:35    
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多功能光電流掃描成像系統-MAPS-LBIC系列

多功能光電流掃描成像系統微區架構相容於各類樣平台,與電學測量系統整可進行光電流掃描成像測試。光電流響應的測試流程為:激發光經斬波後(或直接透過外部TTL調製),再經分束鏡物鏡引入樣品上;透過源表外加偏壓使樣品上每一點產生光電流訊號,將其接入鎖相放大器擷取訊號;
光電流掃描成像:透過2D位移台逐點掃描方式,對樣品進行光電流強度分佈成像。此功能僅需將系統標配的磁吸樣品台替換為電學樣品台,再配合對應的源表,鎖相放大器,前置放大器等外置設備即可實現。此外,配合Waynelabs3 的電動化組件,可支援自訂更多功能,如本頁的掩模版掃描成像功能。
多功能光電流掃描成像系統 主要參數
測試光源 寬譜光:400 - 1100 nm(標配);400 - 2000 nm(可選) 雷射:375 - 1064 nm (選配)
空間解析度 < 1 mm
電動位移行程 50 mm × 50 mm × 40 mm
掃描精度 < 1 mm,步進最小0.04 mm
偏振控制 電動(選購)
光路切換方式 電動,軟體控制
物鏡組 5X,10X,20X,50X,100X可見光物鏡;其它物鏡可客製化
照明光源 高顯色LED面光源
訊號擷取 16路插入式晶片及配套插座;16路單獨可控接地盒;前置放大探頭,鎖相放大器
軟體功能 移動視野,切換物鏡,對焦,框選掃描區域均可用滑鼠直接在影像顯示視窗操作;電動功率調整;自動化光路模式切換;自動化Mapping;自動化偏振Mapping;即時處理與顯示數據
基本功能 · 單點激發測光電流響應及Mapping;
· 電動變功率及變偏振的光電流測量;
· 配備常溫及低溫、氣氛電學樣品台;(選購)
· 可增配激發光調變模組(雷射投影/寬場激發/向量光入射等)
應用場景
主要用於表徵光電材料及裝置的光電流響應及強度分佈
· 光電探測器的量子效率;
· 裝置的電阻分佈特性;
· 太陽能電池光生電流的分佈特性;
· 元件光吸收及光生電荷的分佈特性;
· 半導體結區/界面的電荷分佈等。
多功能光電流掃描成像系統
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