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Alpha-SE非破壞性薄膜/光阻厚度量測儀
    發布時間: 2020-04-24 15:30    
J.A.Woollam
J.A.Woollam
Alpha-SE非破壞性薄膜/光阻厚度量測儀是JAW橢圓儀中,設計用來快速量測一般薄膜材料的簡易橢圓儀,非破壞性膜厚量測,光阻厚度量測,氧化物量測,提供波長380-900nm,並有65度/70度/75度/90度的量測角度可調整,單點量測最快約3秒即可取得數據,軟體內見許多種數學函數來描述吸收膜層的特性:如Lorents、Gaussian、Harmonic等。
Alpha-SE非破壞性薄膜/光阻厚度量測儀點:
  • 非破壞性、非接觸性:光學式量測,無須接觸與破壞樣品。
  • 高度精確性與重複性:因其並非量測光之實際強度,而是量測光之強度比例,橢圓偏振較不受光源之不穩定性或是大氣環境吸收光之影響。
  • 可測得極薄的膜厚:測量的Δ參數具有高度的靈敏度,所以可測得超薄的膜厚(<10nm),可用於光阻厚度量測、氧化物量測。
  • 簡便:先進的分析軟件配合按鈕式操作便可輕鬆完成測試
  • 優異:相比其他技術,先進的光譜橢偏儀為您提供更可靠的薄膜厚度及折射率數據
  • 靈活:可測量各種材料:電介質、半導體、有機物、光阻厚度、氧化物...
  • 超值:合理價格的價格擁有出色的光譜橢偏技術
  • 快速:數秒鐘內完成數百個數據點的測試 —結果立等可取
Theta-SE橢圓儀 應用:
  • VCSEL量測
Alpha-SE非破壞性薄膜/光阻厚度量測儀
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