橢圓偏光儀-alpha 2.0光阻厚度/非破壞性薄膜厚度量測
發布時間: 2020-04-24 15:30
J.A.Woollam
橢圓偏光儀-alpha 2.0-橢偏儀-光阻厚度/非破壞性薄膜厚度量測-J.A.Woollam
光譜橢偏儀 alpha 2.0非破壞性薄膜厚度量測儀是J.A. Woollam橢偏儀產品中,設計用來快速量測一般薄膜厚度材料的簡易橢偏儀,具有高性價比,量測橢偏數據快速的特點,可進行非破壞性薄膜厚度量測,無論是,氧化物薄膜量測,氮化物薄膜量測、光阻厚度量測,只要是透光薄膜皆可量測,量測波長380-900nm,並有65度/70度/75度/90度的量測角度可調整,單點量測最快約3秒即可取得橢偏數據,軟體內見許多種數學函數來描述穿透膜吸、收膜層的特性:如Lorents、Gaussian、Harmonic等。
橢偏儀-alpha 2.0 非破壞性薄膜/光阻厚度量測儀 特點
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非破壞性、非接觸性:光學式量測,無須接觸與破壞樣品。
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高度精確性與重複性:因其並非量測光之實際強度,而是量測光之強度比例,橢圓偏振較不受光源之不穩定性或是大氣環境吸收光之影響。
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可測得極薄的膜厚:測量的Δ參數具有高度的靈敏度,所以可測得超薄的膜厚(<10nm),可用於光阻厚度量測、氧化物量測。
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簡便:先進的分析軟件配合按鈕式操作便可輕鬆完成測試
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優異:相比其他技術,先進的光譜橢偏儀為您提供更可靠的薄膜厚度及折射率數據
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靈活:可測量各種材料:電介質、半導體、有機物、光阻厚度、氧化物...
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超值:合理價格的價格擁有出色的光譜橢偏技術
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快速:數秒鐘內完成數百個數據點的測試—結果立等可取
橢偏儀-alpha 2.0非破壞性薄膜/光阻厚度量測儀 應用
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VCSEL量測
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氮/氧化物薄膜量測
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ITO量測
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OLED有機材料薄膜量測
橢圓偏光儀Alpha 2.0 非破壞性薄膜/光阻厚度量測