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ATLEX-LR準分子雷射
    發布時間: 2020-12-08 16:35    
ATL
ATL Lasertechnik
新一代緊湊型風冷準分子雷射，專為低佔空比應用而設計
ATLEX-LR準分子雷射 特點
  • 極快的脈衝上升時間和高峰值功率密度
  • 雷射頭體積 < 3l
  • TMC（全金屬陶瓷）雷射管
  • 集成真空泵和鹵素過濾器於一體
  • 完全風冷的主動熱控制器
  • 用於系統集成的 RS-485、RS232、USB 和光纖接口
  • 可清洗的光學支架
  • 能量穩定的輸出模式
  • 符合歐洲 CE 標準
  • RoHS 規範
ATLEX-LR準分子雷射 主要參數
ATLEX-LR Specifications
Gas Medium
ArF Units
Wavelength
193 nm
Max. Pulse Energy 1
12 mJ
Max. stab. Energy 10 mJ
Pulse Duration 2
5 ns
Beam Dimensions 2 (V x H)
4 x 6 mm
Beam Divergence 2 (V x H)
1 x 2 mrad
Energy Stability (standard deviation)
< 2 %
Dimensions (LxWxH) click here for details
540 x 470 x 370 mm
Weight
60 kg
Cooling
Air  
Power requirement
230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz  
All specifications are typical data and subject to change without notice due to product improvements.
  • Measured at low rep.rates; allow 10% reduction of output energy and power for laser equipped with stabilization mode.
  • Typical value, FWHM
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