項目 |
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雷射 | 紫外纳秒/皮秒 | 綠光奈秒/皮秒/飛秒 | 红外皮秒/飛秒 |
雷射功率 | 25w | 30w/60w | 20w/50w |
雷射波長 | 355nm | 532nm | 1064nm |
最大加工幅面 | 350mm×400mm | ||
振鏡最大掃描範圍 | 50mm×50mm/100×100mm | ||
定位方式 | 同軸/旁軸視覺定位 | ||
系统加工精度 | ±30um | ||
CCD定位精度 | ±3um | ||
Z轴定位精度 | ±0.02mm | ||
空氣壓力 | 0.5-0.7MPa | ||
電源 | 220V單相/50HZ | ||
冷却方式 | 水冷 | ||
外觀尺寸(L×W×H) | 1650mm×1400mm×1950mm | ||
機台重量 | 1.5t | ||
環境温度 | 20℃-30℃ | ||
環境濕度 | <70% RH無结露 | ||
抗震能力 | 小於5um |
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