MLI-200/500/1000準分子雷射/excimer lasers

MLase的現代集成型MLI準分子雷射器/excimer lasers是波長為193nm或248nm的紫外線光源，具有高脈衝能量高達16毫焦，脈衝重複頻率高達1000赫茲。是市場上使用壽命最長、可靠性最高的獨立裝置，運營成本最低。均勻的鋼輪廓和能量穩定性使它們非常適合苛刻的應用。我們的LC準分子雷射系統還具有主動水冷卻（使用生活用水或外部換熱器；無純淨水），以穩定連續執行。
MLI系列準分子雷射/excimer lasers 型號
MLI-200 / MLI-500 / MLI-1000 準分子雷射
MLI-500LC / 1000LC 準分子雷射(帶水冷系統)

MLI系列準分子雷射/excimer laser特點

．剛性設計
．預先電離產生脈衝
．固態電路
．能量監控
．集成型準分子雷射器,單相
．高可靠性
．均勻的光束輪廓
．立即可用，無需老化
．全金屬密封管
．延長數十億次脈衝的使用壽命
．能量穩定
．易於操作、易於整合

MLI-200/500/1000準分子雷射系列規格

Parameter	ArF	ArF	ArF	KrF	KrF	KrF
Wavelength (nm)	193	193	193	248	248	248
Pulse repetition frequency (Hz)	200	500	1000	200	500	1000
Stabilised pulse energy (mJ)	6	6	6	10	10	10
Stabilised average power (W)	1,2	3,0	6,0	2,0	5,0	10
Pulse stability (standard deviation %)	2	2	2	2	2	2
Beam width (FWHM, VxHmm)	6×3	6×3	6×3	6×3	6×3	6×3
Beam divergence (FWHM, VxHmm)	2×1	2×1	2×1	2×1	2×1	2×1
Pulse length	5-10	5-10	5-10	5-15	5-15	5-15

MLI-500 / 1000 excimer lasers LC準分子雷射系列規格

Parameter	ArF	ArF	ArF	KrF
Wavelength (nm)	193	193	248	248
Pulse repetition frequency (Hz)	500	1000	500	1000
Stabilised pulse energy (mJ)	6	6	10	10
Stabilised average power (W)	3,0	6,0	5,0	10
Pulse stability (standard deviation %)	2	2	2	2
Beam width (FWHM, VxHmm)	6×3	6×3	6×3	6×3
Beam divergence (FWHM, VxHmm)	2×1	2×1	2×1	2×1
Pulse length	5-10	5-10	5-15	5-15