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METIRIO®光學尺
發布時間: 2023-09-13 16:26
SmarAct
METIRIO®光學尺
參考光源照亮一個刻度尺，該刻度尺包括一個 20 µm 節距的增量光柵和一個帶有用於絕對定位的參考標記的軌道。 反射光產生干涉圖案，該干涉圖案由讀數頭內的二極體陣列檢測到。柵尺和讀數頭之間的相對運動產生模擬正弦和余弦信號以及 TTL 形狀的參考標記。
METIRIO®光學尺產品特性與操作原則
．完全編碼，分辨率為 1 nm．精巧的尺寸：6.6 x 5.1 x 1.7 mm
．高解析度： 0.4 nm @ 1 m/s
．定位速度： up to 10 m/s
．超高真空環境可用，達：10-11 mbar
．操作溫度範圍：0 °C – 80 °C
．艱困環境與機械振動補償機制
．SEM 圖像中的“點擊”導航
．群體動作與“逐步和重複”指令
．與各種 20 µm 節距的反射標尺兼容
METIRIO®光學尺主要應用領域
．閉迴路運動系統．CMM (三座標量測儀)
．CNC-銑削機
．半導體工業
．位移測量系統的儀表
．生命科學和顯微鏡中的高精度樣品掃描
．高解析度的3D列印系統
METIRIO®光學尺
服務熱線：886-2-2655-2200 業務咨詢：151 / 維修校正：185
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