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掃描振動計

發布時間: 2023-09-14 10:17

SmarAct

PICOSCALE 掃描振動計是一套完整解決方案，用於測量尺寸範圍從幾微米到幾公分的微機械結構的振動。應用包括 MEMS、傳感器、微型擴音器以及軸承和致動器(Acuactor)的測試。由於該儀器整合了顯微鏡，可測量高達 100萬像素，因此非常適合以高空間和時間分辨率可視化振動模式。當物體開始運動時，高階彎曲行為通常會導致複雜的振動模式，這種現象在傳感器和執行器的設計中至關重要。為了對此類設備進行全模態分析，PICOSCALE 測振儀的測量雷射在樣品上進行掃描，並測量每個像素的振動。根據記錄的數據可以重建振動圖像。

掃描振動計主要應用領域

測量封裝 MEMS 的振動

測量全矽擴音器內的橫向振動與識別智慧手機擴音器的不良共振

使用振動測量法測試超音波換能器

掃描振動計主要參數

解析度 [pm]	<1
頻寬[MHz]	2.5
顯微鏡規格
光學橫向解析度[μm]	44964
光學軸向解析度 [μm]	7 - 90
工作距離[mm]	1.5 - 10
最大觀測面積[mm]	20 x 20
最小畫素尺寸[μm]	1
畫素	1000 x 1000
機台尺寸
控制器	2 units of each 33 x 27 x 7.2 cm (W x L x H), combined weight 7.6 kg
XYZ定位系統	5.5 x 11.0 x 7.5 cm (W x L x H), weight 0.25 kg
機殼	Granite stone 15 x 20 x 4 cm (W x L x H) with stainless steel post 2.5 x 15 cm (Ø x H), combined weight 4.3 kg
振動平台	8 x 1.5 cm (Ø x H), weight 0.5 kg