壓電·三維掃描運動SH30.xyz.C

產品咨詢

產品中心

壓電·三維掃描運動SH30.xyz.C

發布時間: 2023-12-06 15:32

Zolix

壓電·三維掃描運動SH30.xyz.C
針對精密光學、半導體表徵等「3自由度掃描運動」需求的客製化解決方案
壓電·三維掃描運動SH30.xyz.C 特點
• 三維XY掃描運動30 um x 30 um x 15 um；
• 外形尺寸，160 mm x 160 mm x 35 mm；
• 閉環解析度優於0.3 nm；
• 最大負載500 g；
• 最大負載10 kg；
• 支援高真空（.HV）和超高真空（.UHV）選購品升級；
壓電·三維掃描運動SH30.xyz.C 主要參數

可選版本⇨	SH30.xyz.C
基本訊息
Motion Direction 動作方向	X, Y, Z 方向
Size 產品尺寸	160 mm × 160 mm × 35 mm
Main Material 主體材料	不銹鋼
Travel range 運動行程	30 um × 30 um × 15 um
Upgrade options 升級選項	擴展可選：NM，絕對無磁性版本；UHV，超高真空版本；
運動 & 定位
Motion Resolution 運動分辨率	0.1 nm（開環）0.3 nm（閉環）
Repeatability 運動重複精準度（閉環）	< 3 nm
偏擺角度	20 urad / 20 urad / 50 urad
Resonance Frequency共振頻率(空載)	500 Hz
Max. Load 最大負載	10 kg
Encoder Type 閉環感知器閉環感知器（閉環版本）	電容式
Piezo Capacity (Z) 壓電電容(Z)	150 V
其他資訊
Recommended Operation Temperature 推薦使用溫度	-20 ~ 80 °C
Weight 重量	3 kg
Cable Length 線纜長度	1 m / D-sub 3W3